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碳化硅板去除雜質(zhì)的詳細(xì)步驟有哪些？
2022-09-07 11:57:00
碳化硅板硬度僅次于金剛石，使用壽命是一般材料的5-10倍。它具有高硬度、高強(qiáng)度和良好的熱導(dǎo)率。接下來，我們將介紹碳化硅板去除雜質(zhì)的詳細(xì)步驟。
1.首先說腌制。酸洗通常是在加熱的條件下用硫酸處理碳化硅。主要目的是去除碳化硅中的金屬鐵、氧化鐵、鎂、鋁等雜質(zhì)，可清潔快速地去除碳化硅板內(nèi)的雜質(zhì)。
2.二是堿洗。碳化硅堿洗通常在加熱條件下用NAOH處理。主要目的是去除碳化硅板表面的游離硅、二氧化硅等，可增加碳化硅含量，強(qiáng)化其碳化硅含量。
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